В фотометрических эллипсометрах компенсатора нет, поэтому не
возникает проблемы, связанной с его ошибками. Но такой эллипсометр
проигрывает в чувствительности. Исследуемый образец, как и в
нуль-эллипсометре, преобразует падающий на него линейно поляризованный
свет в эллиптический. Но в фотометрическом эллипсометре задача сводится
к измерению эллиптичности у, т. е. отношения полуосей эллипса
поляризации. Для этого,
вращая анализатор, измеряют наименьший и наибольший световые потоки на
его выходе. Впрочем, к величине Д можно перейти путем несложных
вычислений, используя полученные результаты измерения. Спектральный
диапазон фотометрических эллипсометров значительно шире, чем
нуль-эллипсометров, так как в них отсутствует элемент, чувствительный к
длине волны излучения - четвертьволновая пластинка (компенсатор
Сенармона). Поэтому так широко применение фотометрических эллипсометров
для спектрального анализа. Но у них есть существенный недостаток -
большая чувствительность к изменениям мощности источника излучения,
особенно при работе с лазером. Но как говорится, для каждого яда можно
найти противоядие. Такие схемы делают двухканальными: один канал -
измерительный, другой - опорный. Путем сравнения потоков света в этих
каналах удается уменьшить влияние нестабильности источника на точность
эллипсометра.
