|
||||||||||
Новые профессии света, свет - это тоже волны. |
||||||||||
13.08.2014 22:48 |
Лазеры, голография, волоконная и интегральная оптика, поляризационная оптика, интерференция света, жидкие кристаллы |
Дата создания сайта: 15/01/2013 |
||||||||
|
Нуль-эллипсометры Нуль-эллипсометры включают источник излучения, поляризатор, компенсатор, модулятор, анализатор, фотоприемник и регистратор. Разница пропускающих и отражательных эллипсометров лишь в угле падения света на исследуемый образец (рис. 66). В пропускающих эллипсометрах свет падает перпендикулярно на образец, в отражательных - под углом. Рассмотрим принцип работы прибора на примере пропускающего эллипсометра. Свет от источника преобразуется поляризатором в линейно поляризованный и с помощью анализатора гасится. Регистратор фиксирует отсутствие сигнала. Затем в измерительном отсеке устанавливают исследуемый образец, но не произвольно, а так, чтобы его оптическая ось была наклонена строго под углом 45° к направлению пропускания поляризатора. Образец вносит в излучение некоторую разность фаз Д, преобразуя свет в эллиптически поляризованный. Задача состоит в том, чтобы измерить величину А. Для этого в ход луча, который вышел из образца, вводят компенсатор, стремясь скомпенсировать появившуюся разность фаз Д. С этой целью оси компенсатора совмещают с осями эллипса поляризации, и свет вновь становится линейно поляризованным, но вектор его повернут на угол а относительно исходного положения. Величины Д и а связаны между собой: Д равен удвоенному углу а (Д=2а). Чтобы измерить угол а, поступают так же, как при поляриметрических измерениях. Анализатор вращают, пока свет на его выходе не погаснет и сигнал на регистраторе не станет равным нулю.
Рис. 66. Отражательный (а) и пропускающий (б) нуль-эллипсометры: 1 - источник излучения: 2 - поляризатор; 3 - исследуемый образец; 4 - модулятор; 5 - анализатор; 6 - фотоприемник; 7 - регистратор Не трудно заметить, что угол вращения анализатора равен углу поворота вектора поляризации а. Неотъемлемым элементом нуль-эллипсометров является компенсатор. Обычно это четвертьволновая кварцевая пластинка, называемая компенсатором Сенармона. Компенсатор, делая схему высокочувствительной, вместе с тем вносит ошибку в измерения, ограничивая точность эллипсометра. Причина в том, что очень трудно изготовить компенсатор необходимой толщины. Однако выход был найден: в последних конструкциях эллипсометров стали использовать электро- или акустооптические компенсаторы, управляемые постоянным током. Такой эллипсометр может зарегистрировать поворот вектора поляризации на угол, равный 0,005°.
Читать далее про свет и его применение, ультразвуковые волны... Читать далее интересные статьи...
|
|||||||||
|
||||||||||
|
||||||||||
|
||||||||||
|